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石英挠性加速度计的常见参数包括：
1. 量程：可测量加速度的范围。
2. 精度：测量结果的准确程度。
3. 分辨率：能分辨出的加速度变化。
4. 零偏：无加速度输入时的输出值。
5. 标度因数：输出与输入加速度的比例关系。
6. 带宽：可准确测量的频率范围。
7. 线性度：输入输出关系的线性程度。
8. 重复性：多次测量同一加速度时结果的一致性。
9. 工作温度范围：正常工作的温度区间。
10. 长期稳定性：长时间使用时性能的稳定程度。
石英挠性加速度计主要由表头组件和电路部分组成。表头组件包括石英摆片、上下力矩器、检测电容等；电路部分通常包含前置放大器、解调电路、滤波器、伺服电路等。其中，石英摆片是敏感元件，通过其在加速度作用下的挠曲变形来感知加速度。上下力矩器用于产生反馈力矩以实现闭环控制。检测电容用于检测摆片的位置变化并转化为电信号，再经电路部分进行处理和放大，终输出与加速度成正比的电信号。石英挠性加速度计具有以下一些性能特点：
1. 高精度：能够实现较高的测量精度。
2. 高稳定性：长期工作稳定性较好。
3. 宽频带：可在较宽的频率范围内准确测量加速度。
4. 低噪声：输出信号的噪声水平相对较低。
5. 高可靠性：结构可靠，能在多种环境条件下可靠工作。
6. 体积小、重量轻：便于安装和使用在不同的应用场景。
7. 温度适应性：在一定温度范围内能保持较好性能。
8. 快速响应：对加速度变化的响应速度较快。
石英挠性加速度计的引线方式主要涉及其内部引线的连接工艺。这种连接方式通常采用金丝键合技术，它是一种精细的电气连接方法，用于将传感器内部的微小焊盘与相应的接线柱连接起来。具体来说，在制造过程中会使用到专门的工装和设备来实现这一精密的连接操作：首先将下力矩器和石英玻璃镀膜摆片（即部件——石英挠性梁及其上的敏感质量块）固定好；然后通过控制升降装置和真空吸附装置的高度及位置关系来确保操作的稳定性和准确性；接着利用带有加热功能的劈刀进行金丝球焊接以及楔形焊接等步骤来完成各个关键点的可靠电气互联。此过程无需添加额外的焊料且不会引入杂质污染，并且形成的键合点具有很高的耐温性能（通常超过250℃），从而保证了传感器长期工作的可靠性和稳定性。此外整个工艺流程中对于温度、压力以及超声作用时间等因素均需严格控制以保证佳的连接质量和生产效率。
以上信息由专业从事三轴石英挠性加速度计厂家的航新于2025/3/20 7:30:31发布
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